LCP-25 ឧបករណ៍វាស់រាងពងក្រពើពិសោធន៍

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

ឧបករណ៍វាស់រាងអេលីបដោយដៃប្រើវិធីសាស្ត្រផុតពូជដើម្បីវាស់កម្រាស់ និងសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរនៃខ្សែភាពយន្ត ហើយគ្រប់គ្រងមុំគម្លាត និងគម្លាតនៃដំណើរការសាកល្បងដោយដៃ។ Ellipsometry ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការវាស់វែងនៃខ្សែភាពយន្តស្តើង dielectric នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមរឹង។ នៅក្នុងវិធីសាស្រ្តនៃការវាស់កម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តនេះវាអាចត្រូវបានវាស់ទៅស្តើងបំផុតនិងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បំផុត។